【案例】光纤光源在半导体行业的应用

　　在半导体检测领域，灯箱搭配光纤的照明方式具有高均匀、高亮度的特点，这种方式易于得到清晰准确的检测图像，从而被行业广泛应用。

　　此类设备的视觉检测部分，硬件由相机、镜头、光源组合而成。其中镜头最复杂，往往由一套模组搭配而成，镜头的倍数大，精度非常高，且可能搭配棱镜转向装置，结构复杂。经过一系列组合，其结构往往存在通光性差的缺点，常规光源亮度难以满足检测要求。

　　为了满足检测精度、速度的要求，需要搭配亮度极高的光源。早期常用卤素灯照明，卤素灯亮度较高，光谱较全且连续，具有一定的优势。但卤素灯同样存在寿命短、能耗高、发热量大等缺点，维护成本很高，已不能满足不断变化的市场与现代节能环保的要求。

　　乐视科技新款LED光纤光源可替代传统卤素光源，LED光纤光源寿命长(可达6万小时)，亮度可达2000万Lx，环保(符合RoHS标准)，均匀性好(无光晕，无亮斑及暗区)；是一款品质精良的光纤光源，使用寿命为进口卤素灯光源的20倍以上，功耗仅为卤素光源1/10，可大幅降低了产品的维护成本。

　　半导体产品检测要求各有不同，针对不同产品与检测特征，经常需要替换不同波段光源，或者配多种滤镜组合使用，过滤掉不需要的特征。然而这种方式过于繁琐，且更换时容易触碰到机构其它部位影响精度。

　　为满足多波段检测要求，我司以单色光纤光源为基础，开发出可多色切换的光纤光源，即我司的三色光纤光源。只需一台即可实现三色RGB发光，三色可独立发光或混合发光，也可自由控制变化各种波段颜色，实现多光谱检测。可有效的简化光源部分结构，节省机构空间。


以下为我司三色光纤光源使用案例：
　　案例1.晶圆孔洞毛刺检测
　　晶片加工后，表面可能会存在毛刺与残渣在表面影响后续工艺。检测此类较小的孔洞，需配合高倍镜头才能看到细小的毛刺，再经过棱镜模组镜头后通光会减弱很多，使用高亮光纤光源配合照射，亮度满足，毛刺对比明显。


　　案例2.晶圆或玻璃电路检测
　　此类检测产品特征非常小，需要镜头放大倍数小视野成像。通常对光源的亮度要求特别高，而传统点光源亮度不够，使用LED光纤光源亮度满足，光斑均匀。


　　案例3.LED发光芯片线路检测
　　因产品背景有各种色彩，采用单色光源不能满足产品多样性检测；采用三色光纤光源，可根据产品的变化调整不同波段颜色的光照射。


　　光纤光源在半导体行业应用广泛，其亮度高，寿命长，功耗低，大幅降低了产品的维护成本。三色光纤光源可实现一个光源应用多种产品，提升产品检测的兼容性，简化视觉的硬件部分。我司光纤光源品类齐全，涵盖365~1550nm波长范围，欢迎广大客户咨询借样。

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