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机器视觉在半导体行业的光源应用

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发表于 2021-12-25 09:36:52 | 显示全部楼层 |阅读模式

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本帖最后由 LOTS 于 2021-12-25 09:52 编辑

  机器视觉检测早在二十年前已经于半导体工业上广泛应用,半导体、电子设备检测是机器视觉技术应用的发源地,同时也是机器视觉应用的一个巨大市场。半导体、电子制造业每一次技术上的突破如:晶圆越做越大,而内部线路越做越细,向超细间距式器件挺进;连接器体积越来越小,每分钟生产线上需要检测、测量器件的数量越来越多;都伴随着新一轮半导体、电子生产检测设备的诞生。随之洐生更优的质量检测系统需求,用于提升生产效率及良品率,进而促使机器视觉市场不断发展壮大。机器视觉技术本身也随着半导体、电子、光学、自动化等技术的发展而不断完善、发展。  机器视觉在半导体中有哪些应用呢?下面就由乐视自动化为大家介绍,半导体中常见的机器视觉应用案例。
1H0554338-1.jpg


一、表面识别/可控性检测
  在半导体行业中,为使产品具有可追溯性,所有的元件都有识别码,通过识别码可追溯相应的生产信息,机器视觉在检测半导体表面字符、ID码、二维码、Mark点等方面发挥重要作用。
当然对于表面并非只有识别内容,精度越高的产品,对于元件自身的缺陷容忍度越小。所以表面缺陷判断也使得机器视觉在行业内不可缺少。

◆晶圆字符二维码识别
样品图1.jpg
样品图

效果1.png

使用光源:同轴光源
3COX-.jpg
特点:
1、晶圆反光,同轴对反光平面成像均匀
2、亮度高,能兼容二维码和字符多种特征
3、同轴光光路垂直性好,对表面检测更具优势

◆晶圆表面划伤
样品图2.jpg
样品图

3.png
效果展示

使用光源:环形光源
RN-1080.jpg
特点:
1、晶圆片表面缺陷方向多样化,磨砂表面,环形低角度突显出各个方向的缺陷;
2、高密度LED阵列,亮度高;
3、安装方便,不占用视觉系统的空间。

二、测量/对位
在晶圆生产工艺的整个过程中,视觉定位发挥着至关重要的作用。因为测量/对位不准会损坏很多晶圆,因此表现不佳的视觉系统会大大增加半导体设备公司的生产成本。

◆晶元对位
样品3.jpg
样品图

4.png
效果展示

使用光源:组合光源
DM.jpg
特点:
1、晶片具有高反光性,利用圆顶光的均匀性,凸显定位特征点;
2、由于圆顶中间开孔有阴影,使用同轴补光,充分解决暗影区;
3、组合光均匀性好,结构架设方便。

相机芯片测量
样品4.jpg
样品图

5.png
效果展示

使用光源:高亮点光源
3SL-1080.jpg
特点:
1、相机芯片特殊才是,利用利用垂直光,芯片轮廓清晰呈现;
2、高亮度、高均匀、高性价比好,照度可达到40-100万LUX;
3、材质轻便,散热性好。

三、分类筛选
  半导体在制造过程中要求高速、高效、精准,其中分类筛选是半导体制造众多工序中都涉及到的重要环节。机器视觉在表面缺陷检测、分类、正反筛选,无序抓取识别等应用中都发挥了重要的作用。

◆贴片电阻缺陷分类
样品5.jpg
样品图

企业微信截图_16403961096982.png

使用光源:多角度环形光源
AOI-1080.jpg
特点:
1、电阻小,缺陷位置不确定,使用多色能清晰呈现缺陷位置;   
2、响应速度快,亮度高,适应高速响应;  
3、结构设计紧凑,方便安装。

今天的分享就到这里了,感谢支持,我们下期再见。

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